Fraunhofer-Institut IFAM

Der Autor dieser Seiten beschäftigt sich am IWS Dresden, Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik, mit der Entwicklung von Röntgen- und EUV-Optiken. Dieses Thema ist Schwerpunkt der hier vorgestellten Seiten. Die Internetpräsentation dient vorrangig dazu, bisher erfolgte Veröffentlichungen als Pre- oder Reprint einer breiten Öffentlichkeit leicht zugänglich zu machen. Darüber hinaus werden anstehende Vorträge und Präsentationen auf Konferenzen und Workshops angekündigt. Die vollständige und offizielle Internetdarstellung des IWS Dresden und der Fraunhofer-Gesellschaft insgesamt kann über die in der linken Menüleiste eingefügten Links erreicht werden. Die Nutzung von Strahlung des extrem ultravioletten (EUV) und Röntgenspektralbereichs erzwingt die Entwicklung neuartiger Reflexionsschichten mit außerordentlich hohen Präzisionsanforderungen. Die herzustellenden Schichten weisen dabei Dicken im Nanometerbereich auf. Diese Kombination aus Nanotechnologie und Optik erfordert spezielle Kenntnisse und kann nur mit maßgeschneiderter Anlagentechnik erfolgreich bearbeitet werden. weiterlesen